单颗放置治具
授权
摘要
本申请涉及晶圆测试领域，尤其是涉及单颗放置治具，底板和顶盖，所述底板开设有多个用于放置单个晶圆的放置槽，所述顶盖覆盖多个所述放置槽，且所述顶盖与所述底板定位连接。本申请通过设置顶盖与底板转动连接，且顶盖与底板定位连接，配合多个用于放置单个晶圆的放置槽，使得晶圆与放置槽一一对应，且晶圆放置于放置槽内后，转动顶盖直至顶盖与底板定位配合，当设备内加热时，晶圆一一保持放置于放置槽内，设备内的气流经过放置槽时不易使得多个晶圆堆叠。
基本信息
专利标题 ：
单颗放置治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123447556.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
CN216696417U
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
李春阳彭祎刘凤任超
申请人 ：
宁波芯健半导体有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市杭州湾新区庵东工业园区华兴地块中横路18号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123447556.X
主分类号 ：
G01R1/04
IPC分类号 ：
G01R1/04 G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/04
外壳；支承构件；端子装置
法律状态
2022-06-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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