一种闭环气压传感器
授权
摘要
本发明公开一种闭环气压传感器，包括气压敏感结构和闭环控制电路。所述气压敏感结构包括：衬底，下电极，反馈加热电阻，锚区，敏感膜和上电极。其中，上电极结构包括敏感上电极和电极引出；下电极结构包括敏感下电极和电极引出。闭环控制电路，所述闭环控制电路包括：交流电源，气压敏感电容，电容，运放，三极管，反馈加热电阻。本发明通过闭环控制方式，在灵敏度不减小的前提下，气压传感器的满量程线性度得到改善；通过闭环控制电路的调节，气压传感器可以获得比开环状态更大的测量范围。
基本信息
专利标题 ：
一种闭环气压传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114046927A
申请号 ：
CN202210007632.5
公开（公告）日 ：
2022-02-15
申请日 ：
2022-01-06
授权号 ：
CN114046927B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
李维平兰之康李晓波
申请人 ：
南京高华科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市经济技术开发区栖霞大道66号
代理机构 ：
北京中知法苑知识产权代理有限公司
代理人 ：
李明
优先权 ：
CN202210007632.5
主分类号 ：
G01L9/12
IPC分类号 ：
G01L9/12 G01L9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/12
利用电容量变化的
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2022-03-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 9/12
申请日 : 20220106
申请日 : 20220106
2022-02-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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