本申请提供一种触发信号的发生装置、方法和芯片测试系统，能够提高芯片分析测试的全面性和准确性。该触发信号的发生装置包括：采集模块，用于采集芯片的侧信道信号；触发模块，用于根据侧信道信号产生触发信号，触发信号用于触发芯片测试设备测试芯片。通过该技术方案，单独提供一种触发信号的发生装置向芯片测试设备提供触发信号，因此不需要对芯片的接口进行配置，可以适用于芯片的黑盒分析，从而提升芯片分析的全面性。在此基础上，由于芯片的侧信道信号能够表征芯片的运行状态，因而，发生装置采集并根据该侧信道信号产生触发信号，以触发芯片测试设备对芯片进行测试，能够得到较为准确的测试结果，以提高芯片的分析测试性能。