本发明公开了一种消除第三腔干扰的光纤法珀压力传感器及MEMS制造方法，属于高精度光纤传感技术领域。该传感器的SOI片器件层硅与硼硅玻璃同轴固定，单模光纤固结于毛细玻璃管中心孔内的，毛细玻璃固定在硼硅玻璃下表面；其中硼硅玻璃上下表面之间的区域形成法珀光学干涉硼硅玻璃腔，器件层硅的圆孔底面和硼硅玻璃上表面之间的区域形成法珀光学干涉空气腔，器件层硅内表面和圆孔底面之间的区域形成法珀光学干涉硅腔。该器件通过在第三腔—硅腔表面制备出黑硅，使得从硅腔下表面透射过来的光束在硅腔上表面发生漫反射，极大地减少硅腔干涉现象的产生，最终压力传感器中传输的光束仅受空气腔、硼硅玻璃腔的调制，形成规律的双腔干涉光谱，消除了第三腔的干扰，降低了解调难度，提高了测量的精度。