一种基于光纤法珀的碳化硅高温压力传感器及其制作方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种基于光纤法珀的碳化硅高温压力传感器制作方法,a)选用4H‑SiC晶圆片作为碳化硅敏感结构的制作材料;b)制作带有刻蚀腔的晶片;c)敏感膜片的制作;d)激光划片:使用激光工艺对敏感膜片和带有刻蚀腔的基底进行单元切割;e)热压键合:使用单向热压炉对预键合好的碳化硅敏感结构进行热压键合;f)传感器封装:将热压键合好的碳化硅敏感机构使用碳化硅陶瓷封装夹具进行封装;一种基于光纤法珀的碳化硅高温压力传感器,包括碳化硅敏感结构、碳化硅陶瓷封装夹具、石英套管和光纤。本发明将敏感膜片和带有蚀刻腔的晶片均采用碳化硅材料直接键合形成法珀腔,气密性良好,键合强度高,提高了传感器的生产效率,降低了成本。
基本信息
专利标题 :
一种基于光纤法珀的碳化硅高温压力传感器及其制作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114459647A
申请号 :
CN202210098792.5
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-01-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李悦陆剑张清芮磊吴晓东
申请人 :
江苏奥力威传感高科股份有限公司
申请人地址 :
江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区祥园路158号
代理机构 :
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 :
董旭东
优先权 :
CN202210098792.5
主分类号 :
G01L1/24
IPC分类号 :
G01L1/24 G01L11/02 C23C28/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/24
通过测量材料受应力时其光学性质的变化,例如,应用光弹性应力分析
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/24
申请日 : 20220127
申请日 : 20220127
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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