本发明涉及反射式飞行时间质谱仪测量技术领域，具体涉及一种用于六氟化铀气体样品的同位素分析和杂质含量测量的装置，所述的装置包括依次设置的进样器、离化区、反射式质量分析器、微通道板探测器、前置放大器、数据采集卡以及电脑终端和尾气处理，不仅可实现对六氟化铀气体中痕量量级的杂质成分测定，还能实现对铀同位素的丰度的快速测量。本发明所述的装置具有结构紧凑，集成化高，操作安全简单，便于携带搬运的特点；实现了模块化和国产化，具有便于维修维护的特点，在设备退役或者部件更新换代时进行替换和改装模块时较为简易，利用本发明所述的装置，可以快速、准确测量六氟化铀气体样品的同位素分析和杂质含量。