一种高灵敏度的基于MEMS技术的片状压阻式磁致伸缩换能器
实质审查的生效
摘要

本发明提供了一种高灵敏度的基于MEMS技术的片状压阻式磁致伸缩换能器,在工作过程中,当外界控制机构通过电路板向波导丝发送周期性的电流脉冲,电流脉冲在波导丝内部传播,而波导丝外部产生一个环形磁场,当该环形磁场和套在波导丝上的外界检测磁环所产生的磁场相交时,由于磁致伸缩的作用,波导丝内会产生一个应变机械波脉冲信号,应变机械波脉冲信号沿着波导丝以固定的速度传播至单晶硅膜片,单晶硅膜片震动后挤压所述压电传感器,压电传感器将相应的电信号经过电路板放大后传送至外界控制机构,控制机构结合发送电流脉冲的时间、接收压电传感器信号的时间以及应变机械波脉冲信号的传播速度等信息,可以计算得出感应磁环的相对位置。

基本信息
专利标题 :
一种高灵敏度的基于MEMS技术的片状压阻式磁致伸缩换能器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114322735A
申请号 :
CN202210036286.3
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2022-01-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李海全李和深林炳柱张华享周炜彬
申请人 :
江门市润宇传感器科技有限公司
申请人地址 :
广东省江门市新会区会城北安北路11号(主车间)自编09号
代理机构 :
北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人 :
周媛
优先权 :
CN202210036286.3
主分类号 :
G01B7/02
IPC分类号 :
G01B7/02  B06B1/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B7/00
以采用电或磁的方法为特征的计量设备
G01B7/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 7/02
申请日 : 20220113
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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