本发明公开的属于STM技术领域，具体为一种STM载具回流循环设备，包括支撑框，所述支撑框的前侧表面螺栓固定连接有双轴电机，所述双轴电机通过传动带与加工带组成传动结构，所述支撑框的内部转动连接有回传带，所述支撑框的内部螺栓固定连接有进料箱，所述支撑框的内部螺栓固定连接有出料箱，所述出料箱的内部螺栓固定连接有支撑块，所述支撑块的上表面设置有载具本体。该STM载具回流循环设备解决了现有的一些STM载具回流循环设备在使用时，载具在长时间的高温下，容易发膨胀，从而导致载具的精度发生变化，同时在对载具进行循环时，需要通过多组夹具对载具进行夹持，使整个装置的加工效率降低，也使整个装置的占地面积变大的问题。