超材料红外发射结构和制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种超材料红外发射结构，包括灯丝，所述灯丝的圆周通过原子层沉积方式沉积有超材料薄膜，所述超材料薄膜由多圈间隔沉积的W和ZrO2、或Si和TiO2、或SiO2和Si构成，所述W、Si或SiO2直接与灯丝的外圆周相接触。还公开了一种超材料红外发射结构的制备方法，在灯丝上通过原子层沉积方式间隔沉积有W和ZrO2、或Si和TiO2、或SiO2和Si，所述W和ZrO2、或Cr和Si、或Si和SiO2呈圆周分布在灯丝上。本发明采用原子层沉积(ALD)方式间隔沉积方式，能在灯丝上以包裹的方式镀在灯丝上，提高了灯丝热量利用率、产品发光效率以及产品稳定性能。
基本信息
专利标题 ：
超材料红外发射结构和制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114525493A
申请号 ：
CN202210037478.6
公开（公告）日 ：
2022-05-24
申请日 ：
2022-01-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
徐璐宫永康李康赵蒙
申请人 ：
苏州科技大学
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区科锐路1号
代理机构 ：
苏州智品专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
丰叶
优先权 ：
CN202210037478.6
主分类号 ：
C23C16/14
IPC分类号 ：
C23C16/14 C23C16/24 C23C16/40 C23C16/455 F24D13/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/06
以金属材料的沉积为特征的
C23C16/08
自金属卤化物
C23C16/14
仅沉积一种其他的金属元素
法律状态
2022-06-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/14
申请日 : 20220113
申请日 : 20220113
2022-05-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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