炉顶盘升降旋转机构
实质审查的生效
摘要

本发明属于半导体生产技术领域,具体的说是炉顶盘升降旋转机构,包括调整平台和旋转固定架;所述调整平台上固接有导向筒;所述导向筒中活动连接有炉盖提升轴;所述炉盖提升轴下端通过关节轴承连接有电缸;所述炉盖提升轴上端固接有炉盖连接架;所述炉盖连接架远离炉盖提升轴的一端安装有炉盖;所述旋转固定架上安装有旋转单元;通过电缸推动炉盖提升轴上移,带动炉盖上升,使得炉盖与碳化硅单晶生长炉脱离,之后通过旋转单元带动炉盖提升轴转动,将炉盖旋转移开,便于后续对炉体内部情况进行检测,以及对炉体内部进行清扫,该操作解决了碳化硅单晶生长炉的炉盖自动提升和自动旋转这两个技术难题,保证了碳化硅单晶生长炉功能的完整性。

基本信息
专利标题 :
炉顶盘升降旋转机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114411257A
申请号 :
CN202210059225.9
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-01-19
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
黎志欣廖亚张瑶勇李佳明李占贤
申请人 :
连城凯克斯科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路15号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202210059225.9
主分类号 :
C30B29/36
IPC分类号 :
C30B29/36  C30B35/00  F27D1/18  F27D21/00  F27D25/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/36
申请日 : 20220119
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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