双面增透微结构的蓝宝石窗口及其制备方法
实质审查的生效
摘要

本发明提出了一种双面增透微结构的蓝宝石窗口及其制备方法,包括蓝宝石基板层,其特征在于在该蓝宝石基板层上表面制备第一微结构阵列,在该蓝宝石基板层下表面制备第二微结构阵列或者第一光学薄膜,所述第一微结构阵列和第二微结构阵列为一维光栅结构,凹槽深度为140nm‑220nm,715nm‑920nm波长范围内的透过率在98%以上。本发明方法能够使窗口在耐腐蚀、耐高温且高稳定性的同时提高透过率。本发明能有效降低在蓝宝石上的制备难度以及刻蚀难度。

基本信息
专利标题 :
双面增透微结构的蓝宝石窗口及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114488362A
申请号 :
CN202210059779.9
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-01-19
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
晋云霞张文妮邵建达曹红超张益彬汪瑞滕召权
申请人 :
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 :
上海市嘉定区清河路390号
代理机构 :
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
张宁展
优先权 :
CN202210059779.9
主分类号 :
G02B1/118
IPC分类号 :
G02B1/118  G02B5/18  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B1/00
按制造材料区分的光学元件;用于光学元件的光学涂层
G02B1/10
对光学元件表面涂覆或对它进行表面处理后所产生的光学涂层
G02B1/11
抗反射涂层
G02B1/118
具有一种设计成分段视觉波长的表面结构以提供增强的透射率,例如,蛾眼结构
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 1/118
申请日 : 20220119
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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