金刚石红外增透保护薄膜及制备工艺
专利申请的视为撤回
摘要
用人工化学气相沉积技术制备的金刚石多晶薄膜可以作为红外增透保护膜，其硬度为6000～10000kg/mm2，不怕酸、碱腐蚀，大气中耐温500℃以上，可在恶劣环境条件下使用。该膜采用基板超声预处理，在优化工艺条件下人工化学气相沉积等技术措施制备。本发明可广泛应用于冶金、化工、航天航空、军事等工业和科研领域，如工业生产线上的红外在线探测、战地及野外环境中的红外夜视仪等。可提高仪器的灵敏度、频率选择性及稳定性等，并能大幅度地延长仪器的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
金刚石红外增透保护薄膜及制备工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1094455A
申请号 ：
CN93112643.6
公开（公告）日 ：
1994-11-02
申请日 ：
1993-12-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
沈元华应萱同
申请人 ：
复旦大学
申请人地址 ：
200433上海市邯郸路220号
代理机构 ：
复旦大学专利事务所
代理人 ：
陆飞
优先权 ：
CN93112643.6
主分类号 ：
C23C16/26
IPC分类号 ：
C23C16/26
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
法律状态
1997-07-23 ：
专利申请的视为撤回
1995-11-22 ：
实质审查请求的生效
1994-11-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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