一种红外窗口增透保护膜
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摘要

本发明公开一种红外窗口增透保护膜,属于红外光电技术领域。包括基底层、过渡层和类金刚石层;所述基底层由硫族材料、锗或硅材料通过物理气相沉积的方式进行沉积,沉积过程中利用氩气进行离子辅助,以增加膜层的致密性,同时减小膜层的应力;所述过渡层的材料为锗、硅、硒化锌和氟化镱,有很好的附着力,有利于类金刚石层在硫族材料上的沉积;且分为四层结构、六层结构和八层结构;所述类金刚石层通过化学气相沉积的方法制备,采用丁烷为气源,氩气为载气进行沉积,沉积过程中控制两者的比例和射频功率的大小。所述过渡层作为类金刚石层和基底层之间的中间层,一方面增加了窗口的光学透过性,另一方面减小了膜层间的应力。

基本信息
专利标题 :
一种红外窗口增透保护膜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112859208A
申请号 :
CN202110192583.2
公开(公告)日 :
2021-05-28
申请日 :
2021-02-20
授权号 :
CN112859208B
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
张美奇
申请人 :
无锡奥夫特光学技术有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市梁溪区会北路26-17
代理机构 :
无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杨立秋
优先权 :
CN202110192583.2
主分类号 :
G02B1/115
IPC分类号 :
G02B1/115  G02B1/14  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B1/00
按制造材料区分的光学元件;用于光学元件的光学涂层
G02B1/10
对光学元件表面涂覆或对它进行表面处理后所产生的光学涂层
G02B1/11
抗反射涂层
G02B1/113
仅使用无机材料
G02B1/115
多层
法律状态
2022-05-17 :
授权
2021-06-15 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 1/115
申请日 : 20210220
2021-05-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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