MEMS器件的微机械薄膜结构及MEMS器件
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种MEMS器件的微机械薄膜结构及MEMS器件，微机械薄膜结构包括：衬底；锚点座，锚点座设在衬底上；弹性薄膜组件，弹性薄膜组件包括薄膜件和应力吸收件，应力吸收件设在薄膜件上以吸收引发薄膜件蠕变的应力，薄膜件和应力吸收件二者中的一者设在锚点座上。本发明通过设置应力吸收件吸收引发薄膜件蠕变的应力，使弹性薄膜组件上的集中应力得到释放或均匀化处理，从而改善抗蠕变特性，避免MEMS器件的性能发生漂移。
基本信息
专利标题 ：
MEMS器件的微机械薄膜结构及MEMS器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114477069A
申请号 ：
CN202210061114.1
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘泽文张玉龙
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园
代理机构 ：
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄德海
优先权 ：
CN202210061114.1
主分类号 ：
B81B7/02
IPC分类号 ：
B81B7/02 B81B7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B7/00
微观结构系统
B81B7/02
包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B81B 7/02
申请日 : 20220119
申请日 : 20220119
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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