一种薄膜器件
授权
摘要
本实用新型公开了一种薄膜器件，包括依次向上层叠的基板、膜层组件、顶层电介质膜层和保护膜层，膜层组件包括沿基板向上依次层叠的电介质膜层、银膜层和牺牲膜层，或膜层组件包括沿基板向上依次层叠的电介质膜层、牺牲膜层和银膜层，所述膜层组件还包括GaSb膜层，所述GaSb膜层层叠在牺牲膜层上面；或所述GaSb膜层层叠在银膜层和电介质膜层之间；或所述GaSb膜层层叠在牺牲膜层上面，同时所述GaSb膜层还层叠在牺牲膜层与电介质膜层之间。本实用新型可以提高膜系在高温热处理的稳定性，又可提高该薄膜器件的化学稳定性和改善其机械性能，且具有高的可见光透过率、低的电阻。
基本信息
专利标题 ：
一种薄膜器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020390318.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-25
授权号 ：
CN213475793U
授权日 ：
2021-06-18
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
四川猛犸半导体科技有限公司
申请人地址 ：
四川省宜宾市临港经开区长江北路西段附三段17号企业服务中心731室
代理机构 ：
厦门市精诚新创知识产权代理有限公司
代理人 ：
方惠春
优先权 ：
CN202020390318.6
主分类号 ：
C03C17/36
IPC分类号 ：
C03C17/36 C03C27/12 B32B17/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C17/00
纤维或丝之外玻璃，例如微晶玻璃的涂覆法表面处理
C03C17/34
用至少两种不同成分的涂层
C03C17/36
至少一种涂层是金属
法律状态
2021-06-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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