本发明公开一种硅纳米球的制备方法，包括以下步骤：步骤一：超声清洗硅片；步骤二：将清洗好的硅片固定于装有去离子水的石英培养皿中，并将石英样品池固定在飞秒激光微纳加工系统的三维电动平移台上方；步骤三：将飞秒脉冲激光聚焦到硅片表面；步骤四：用运动控制软件设置三维电动平移台的移动参数；步骤五：硅片通过程序控制移动，飞秒脉冲激光烧蚀硅片表面，得到淡黄色胶体状硅纳米水溶液。与现有技术相比，本发明具有无复杂工艺，操作简便，可以通过软件预设参数，实现了硅纳米颗粒溶液的自动化制备，制成的硅纳米球直径较大的特点。