移载机构及具有其的机器手臂
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种移载机构及具有其的机器手臂,移载机构包括:承载本体;多个支撑结构,间隔设置于承载本体,支撑结构包括至少两个支撑件,支撑件包括支撑部和弹性件,弹性件的第一端与承载本体连接,弹性件的第二端与支撑部连接,支撑部远离弹性件的一端为支撑端。本发明的移载机构解决了现有技术中的晶圆在传送过程中容易出现滑片现象的问题。
基本信息
专利标题 :
移载机构及具有其的机器手臂
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114347060A
申请号 :
CN202210074865.7
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-01-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
龙洋胡淼龙
申请人 :
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 :
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 :
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 :
刘鑫
优先权 :
CN202210074865.7
主分类号 :
B25J11/00
IPC分类号 :
B25J11/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25J
机械手;装有操纵装置的容器
B25J11/00
不包含在其他组的机械手
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B25J 11/00
申请日 : 20220121
申请日 : 20220121
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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