本发明公开了一种高熵合金/氮化物纳米复合薄膜、制备方法及应用，复合薄膜为高熵合金基体相包裹金属氮化物陶瓷纳米相形成的双相薄膜；高熵合金基体相包括五种金属元素，包括至少两种弱氮化物金属和至少一种强氮化物金属；本发明包括Cu、Ni、Mn等弱氮化物元素和Ti、Nb、Cr、Zr、W等强氮化物元素；强氮化物元素可与氮气反应形成陶瓷相；在薄膜沉积过程中强氮化物元素与氮发生反应析出，形成陶瓷纳米相增强的复合高熵合金薄膜；得到的复合薄膜兼具氮化物陶瓷优异强度与高熵合金良好韧性；具有高硬度、高韧性以及优异的耐磨损性能。