一种镀膜光学反射镜的测试装置及其方法
实质审查的生效
摘要
本发明的一个实施例公开了一种镀膜光学反射镜的测试装置及其方法，所述装置包括干涉仪和高真空低冷环境模拟舱，其中，所述干涉仪用于测试镀膜光学反射镜的面型并判断光学反射镜的膜层是否正常；所述高真空低冷环境模拟舱用于为待测镀膜光学反射镜提供测试环境。从而解决了无法在常温下测试无法验证镀膜光学反射镜在高真空低温情况下性能的问题，具有广泛的应用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种镀膜光学反射镜的测试装置及其方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114485463A
申请号 ：
CN202210077939.2
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张盈张兴高阳杜渐李杨杜惠杰尹思瑶李晓威费锦东
申请人 ：
北京仿真中心
申请人地址 ：
北京市海淀区永定路142信箱30分箱
代理机构 ：
北京正理专利代理有限公司
代理人 ：
张帆
优先权 ：
CN202210077939.2
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24 G01B9/02015 G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20220124
申请日 : 20220124
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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