本申请公开了一种异质结太阳能电池及其制备方法，属于太阳能电池技术领域。一种异质结太阳能电池的制备方法，该方法包括：提供半导体衬底，在半导体衬底的两侧均分别形成透明导电层；利用等离子体工艺对至少一侧的透明导电层进行等离子体处理；利用原子层沉积在等离子体处理后的透明导电层表面形成氧化锡层；利用等离子体工艺对氧化锡层进行等离子体处理，并进行退火处理；在退火处理后的氧化锡层表面形成种子层；利用电镀工艺在半导体衬底的两侧的种子层表面均分别形成金属电极。本发明可以降低电池的串联电阻，降低电池的制备成本，提升电池结构中各层与层之间的结合力，能确保电池的光电转换效率。