本申请公开一种晶圆清洗设备及其传输装置，所公开的晶圆传输装置包括晶圆装载部、支撑基座、第一调节组件和第二调节组件，其中：晶圆装载部包括装载支架，支撑基座包括支撑基板，装载支架与支撑基板相连，且装载支架在支撑基板的支撑面上位置可调；第一调节组件用于调节装载支架相对支撑基板在第一方向的位置，第二调节组件用于调节装载支架相对支撑基板在第二方向的位置，第一方向与第二方向均与支撑面平行，且第一方向与第二方向不同。上述方案可以解决调节组件调节晶圆装载部在支撑基座的支撑面上的位置时，只能在一个方向进行调节，在其它方向的调节需要手动拆卸后调节而造成的调节精度不高，且调节效率低的问题。