本实用新型提供一种半导体清洗设备的传输装置，该传输装置包括半导体清洗设备的传输装置，用于在清洗槽与容器货架之间传输可盛放待清洗件的容器，包括主体框架、机械臂、驱动源和动力传输机构，其特征在于，机械臂的两个端部分别与主体框架的左右两侧连接；主体框架的左右两侧分别设置有动力传输机构，且动力传输机构与其位于同侧的端部连接；驱动源设置在主体框架上，且与动力传输机构连接；动力传输机构用于将驱动源输出的动力传输至机械臂上，以带动机械臂沿主体框架、在竖直方向上下移动。应用本实用新型，可以避免机械臂在水平位置发生偏移，也可避免容器件在机械臂上传输时由于机械臂向下倾斜而造成传输误差。