样品传输装置及半导体设备
实质审查的生效
摘要
本发明揭示了一种样品传输装置，用于在半导体设备的腔体内传输样品，包括：传送台，用于放置样品；传送杆，用于推拉所述传送台以在腔体内传输样品；恒力组件，所述恒力组件的一端连接所述传送杆，所述恒力组件对传送杆施加恒定拉力。本发明还揭示了一种半导体设备，包括：腔体以及所述样品传输装置。在本发明提供的样品传输装置及半导体设备中，使用恒力组件为传送杆提供恒定拉力，从而有效地防止静置的传送杆和传送台滑动，并能够有效地排除传送杆因发生滑动导致传送台发生碰撞的隐患。
基本信息
专利标题 ：
样品传输装置及半导体设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114334760A
申请号 ：
CN202111475100.6
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
缪晖华
申请人 ：
上海精测半导体技术有限公司
申请人地址 ：
上海市青浦区徐泾镇双浜路269、299号1幢1、3层
代理机构 ：
苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
储振
优先权 ：
CN202111475100.6
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/677
申请日 : 20211206
申请日 : 20211206
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
