一种半导体显影设备的传输装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种半导体显影设备的传输装置，包括容纳盒，所述容纳盒包括上盖，底座，支架和支撑板，上盖和底座之间设有多个容纳腔，相邻容纳腔之间通过支撑板间隔，所述支撑板两侧设置支架，多个支架沿竖直方向设置，支架、底座、上盖和支撑板均设有通孔，螺钉穿设在通孔中并通过螺母锁紧，所述支撑板包括第一支撑臂和第二支撑臂，第一支撑臂和第二支撑臂对称设置且与支架连接。本实用新型的一种半导体显影设备的传输装置能够通过容纳盒容纳多件产品，可以同时输送大量产品，输送效率较高；此外，其组装和拆卸方式，方便能够根据产品进行尺寸调整。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体显影设备的传输装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022045266.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-17
授权号 ：
CN212907678U
授权日 ：
2021-04-06
发明人 ：
杨世武
申请人 ：
昆山首佳智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市花桥镇绿地大道1325号光华时代广场1号楼1605室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022045266.1
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 G03F7/30
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-04-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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