本发明提供了一种晶圆传输系统及半导体设备，该晶圆传输系统包括缓存台，设置于缓存台上方的若干用于检测晶圆重量的压力检测单元，光电检测单元，以及拾取单元；拾取单元包括两个平行设置的转动式抓取板，转动式抓取板沿其延伸方向的至少一条侧边形成承托晶圆边缘并具第一缺口的固定叉齿部，与连接转动式抓取板的端部连接两个连接臂，拾取单元根据光电检测单元及压力检测单元发送的检测信号，以确定转动式抓取板的轴向转动角度。本申请所揭示的晶圆传输系统避免了晶圆传输系统在抓取并传输晶圆过程中可能发生的掉片或碎片等不良现象，实现了对不同厚度的晶圆执行夹持操作，提高了对晶圆夹持操作的可靠性。