本发明提供一种基于纳米裂纹的纳流控芯片及其加工方法。本发明由聚二甲基硅氧烷通道层玻璃基底键合而成，聚二甲基硅氧烷通道层含有微米通道和至少一条纳米通道，纳米通道与微米通道相连，微米通道末端通过储液槽与外界连接，所述储液槽用于纳米流控芯片样品的加入和提取。本发明加工方法简单，可实现单根纳米通道或者多根纳米通道阵列的高效快速加工，且纳米通道的长度、位置、尺寸精确可控。解决了采用传统半导体加工工艺耗时长，成本高，操作复杂等问题。所加工的微纳流控芯片可用于基于纳流控技术的生物传感、化学分析、微纳能源收集等领域。