本发明公开了一种有机硅单体合成过程中废硅粉的综合利用方法，包括以下步骤：①活化搅拌：将废硅粉和废硅铜触体与活化剂制成硅铜粉活化料；②回床反应：将铜硅粉活化料和氯甲烷在流化床反应器内进行流化反应；③分离处理：将从流化床反应器顶部排出的气料混合颗粒进行一级分离，一级分离得到的粗颗粒物导入到流化床反应器内继续流化反应，而一级分离得到的气料混合颗粒进行二级分离，二级分离得到含尘气体输送至洗涤塔内；④硅粉浸出处理：经二级分离得到的超细颗粒物进行酸浸、过滤得到金属产品和硅粉浸出液；⑤硅粉回收：将硅粉浸出液进行中和、酸洗和过滤得到硅粉产品。本发明具有工艺技术简单、废硅粉的转化率高和连续化生产的优点。