一种适用于电镀电池片正表面激光开槽方法
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种适用于电镀电池片正表面激光开槽方法,包括:对P型晶体硅基体的正表面做制绒处理,背表面做抛光处理;在P型晶体硅基体的正表面生长一层氧化硅层,然后在氧化硅层上沉积一层非晶硅层并对其进行磷掺杂,随后进行退火,得到掺杂磷的多晶硅层;去除P型晶体硅基体背表面以及边缘绕扩处的掺杂磷的多晶硅层,并在P型晶体硅基体背表面制备一层氧化铝钝化层,随后沉积一层氮化硅膜;对处理后的P型晶体硅基体的正表面使用紫外皮秒激光器进行开槽,将开槽处的氮化硅膜去除。本发明的有益效果是使用了平顶激光开槽,激光可以直接对氮化硅进行开槽,不要使用掩膜等材料来做阻挡层,简化工艺流程,提高工作效率的同时节约成本。

基本信息
专利标题 :
一种适用于电镀电池片正表面激光开槽方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114447156A
申请号 :
CN202210101476.9
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2022-01-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
马敏杰从海泉马擎天宋楠
申请人 :
环晟光伏(江苏)有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路20号
代理机构 :
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
栾志超
优先权 :
CN202210101476.9
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18  H01L31/0224  B23K26/36  
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20220127
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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