一种背接触异质结太阳能电池制造方法
实质审查的生效
摘要

本发明涉及一种背接触异质结太阳能电池制造方法,它包括步骤A,其具体工艺如下:步骤a1,在半导体基板双面同步沉积第一半导体钝化层、第一半导体层和减反射绝缘层;所述第一半导体层为N型掺杂多晶硅层;步骤a2,蚀刻去除覆盖第二导电区的第一半导体钝化层、第一半导体层和减反射绝缘层以露出第二导电区;步骤a3,在第二导电区依次沉积的第二半导体钝化层和第二半导体层;所述第二半导体层为P型掺杂非晶硅层;步骤a4,蚀刻去除半导体基板第二主面外露的减反射绝缘层。本发明目的在于提供一种制造方法,其减少了工艺步骤,并采用了N型多晶硅层与P型非晶硅层交叉排列结构,在制备过程中更加耐腐蚀,以保持膜层的完整性,提高了性能。

基本信息
专利标题 :
一种背接触异质结太阳能电池制造方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114497290A
申请号 :
CN202210125200.4
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-02-10
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
林锦山张超华谢志刚
申请人 :
福建金石能源有限公司
申请人地址 :
福建省泉州市晋江市经济开发区(五里园)泉源路17号
代理机构 :
北京中济纬天专利代理有限公司
代理人 :
张娟娟
优先权 :
CN202210125200.4
主分类号 :
H01L31/20
IPC分类号 :
H01L31/20  H01L31/0352  H01L31/0747  
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/20
申请日 : 20220210
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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