一种基于软磁薄膜应用于太赫兹波段的平面电感
公开
摘要
本发明涉及一种基于软磁薄膜平面电感的制备加工与太赫兹波段电感的测试方法，软磁薄膜为具有高频磁导率性能的磁性薄膜，以Fe‑基磁性薄膜为主，太赫兹波段磁导率高于2。开口环形软磁薄膜平面电感由（1）基片和（2）软磁薄膜组成，如图1所示。采用高真空磁控溅射方法与微纳加工工艺制备而成。开口环形平面电感结构的厚度为10~100 nm，在0.3‑1.5 THz频段，平面电感值为0.1~5 nH，施加100 Oe磁场，太赫兹波段电感值调谐率高于20%。相比于非磁金属或非软磁薄膜开口环形电感，本发明平面电感在太赫兹波段具有可调控性。开口环形软磁薄膜平面电感易于大规模生产，具有高的器件集成度和可调控特性。
基本信息
专利标题 ：
一种基于软磁薄膜应用于太赫兹波段的平面电感
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114464433A
申请号 ：
CN202210147624.0
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2022-02-17
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
严明慧张晓渝肖雷张晋孔嘉钱佳怡王添赟
申请人 ：
苏州科技大学
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区学府路99号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210147624.0
主分类号 ：
H01F29/00
IPC分类号 ：
H01F29/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01F
磁体；电感；变压器；磁性材料的选择
H01F29/00
未包括在H01F21/00组内的可变变压器或电感器
法律状态
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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