本发明公开了一种硅片快速冷却装置及其冷却方法，涉及硅片生产技术领域，具体为外框和下冷却组件，所述外框的两端转动连接于驱动轴，所述驱动轴的表面连接有传输带，所述轴承的表面开设有管槽，所述下冷却组件设置于管槽内部，所述第一冷却管的外表面设置有透气吸水棉，所述托盘上表面连接有第二换热器。该硅片快速冷却装置及其冷却方法，第一冷却管、第二冷却管分别从高温硅片的下、上方直接对其进行降温散热，解决了技术背景中所提出的问题，通过流量计监测冷却液的流量以监测第一冷却管是否发生破损，并在第一冷却管破损时通过警报装置向工作人员发出提示，由工作人员及时对各第一冷却管进行检查，以便及时对出现破损的第一冷却管进行补修。