本发明提供了一种亚临界水制备工艺及其发生装置，亚临界水制备工艺包括气水混合系统和气水分离系统；气水混合系统用于将高压过热蒸气和工艺水进行充分混匀、换热，使高压过热蒸气和工艺水组成的气水混合流体生成亚临界水和饱和蒸气的气水混合物；气水分离系统用于将气水混合物中的亚临界水和饱和蒸气分离，亚临界水直接被应用，饱和蒸气进一步冷凝为亚临界水，进而被应用。本发明以高压过热蒸气为热源对工艺水直接加热，最终将高压过热蒸气和工艺水均转化成亚临界水而被充分利用，原料利用率高；无需额外引入加热装置，热能利用效率高。