一种纤维布匹表面初步金属化处理装置及处理方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及薄膜技术领域,尤其是一种纤维布匹表面初步金属化处理装置及处理方法;包括腔室,所述腔室内设置若干组中频孪生对靶,每组中频孪生对靶中的靶材正对放置,且分别放置于待镀布品两侧,每组中频孪生对靶之间形成等离子区域,每组中频孪生对靶后设置有一组水冷板,每组水冷板分别放置于待镀布品两侧;所述每组中频孪生对靶接中频磁控溅射电源,互为阴阳极;同样的溅射功率和生产速度,产品表面镀层厚度仅普通直流磁控溅射镀层一半,约10‑20nm,产品表面电阻却大幅降低,从兆欧级降至千欧级,从而可以提高后续电镀施镀效率;同时也节约了靶材和能耗,降低了生产成本。
基本信息
专利标题 :
一种纤维布匹表面初步金属化处理装置及处理方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114481084A
申请号 :
CN202210154291.4
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-02-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王明树景佰亨
申请人 :
常州市飞荣达电子材料有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市金坛区华业路139号
代理机构 :
南京勤行知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈烨
优先权 :
CN202210154291.4
主分类号 :
C23C14/56
IPC分类号 :
C23C14/56 C23C14/20 C23C14/35 D06M11/83
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备;维持真空的装置,例如真空锁定器
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/56
申请日 : 20220221
申请日 : 20220221
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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