一种金刚石表面金属化装置结构
授权
摘要
本实用新型涉及表面金属化装置技术领域，且公开了一种金刚石表面金属化装置结构，包括真空镀膜箱，所述真空镀膜箱的内部开设有真空镀膜室，所述真空镀膜箱的左侧固定安装有真空抽气泵。本实用新型，通过在支撑柱的顶部固定安装有基片台，从而使电动机运转带动支撑柱，且支撑柱带动基片台，进而使基片台的顶部夹持连接有的金刚石片进行转动，且基片台的底部固定安装有真空加热器，从而可对真空镀膜室进行加热，最后通过真空镀膜室内顶壁的左右两侧固定连接的磁控溅射靶进行真空镀膜，从而使金刚石片金属化更为均匀、结合力更好，几乎元素周期表中的所有固体材料均可以溅射到金刚石表面，从而实现了金刚石表面金属化的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种金刚石表面金属化装置结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922170665.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-06
授权号 ：
CN211005593U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
邹杨孙蕾邹松东
申请人 ：
洛阳奥尔材料科技有限公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市涧西区浅井头一街坊7幢2-402室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922170665.8
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/18 C23C14/56 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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