一种三轴霍尔角度传感器
公开
摘要
本发明公开了一种三轴霍尔角度传感器，涉及微电子学与固体电子学领域。本发明三接触四霍尔结构具有旋转对称性，将同一方向垂直霍尔器件正交耦合连接能有效消除失调，并且能增大测量水平方向磁场的绝对灵敏度。放置在中间的四个完全一样的霍尔器件通过正交耦合连接在一起，该方式可以很好的消除器件几何误差、有源区掺杂不均匀、以及接触电阻等工艺误差等引起失调。因此采用四个垂直霍尔器件测量水平方向的磁场，测量同一水平方向磁场时使用两个互补的垂直型结构消除误差。该三轴霍尔角度传感器面积仅为142×142μm2，实现了测量磁场方向与xy平面夹角误差小于0.2°，磁场方向在xy平面投影与x轴夹角误差小于0.05°的性能。
基本信息
专利标题 ：
一种三轴霍尔角度传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114609559A
申请号 ：
CN202210160921.9
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-02-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
樊华王江名许童睿赵攀峰冯全源苏华英王国松
申请人 ：
电子科技大学
申请人地址 ：
四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号
代理机构 ：
电子科技大学专利中心
代理人 ：
陈一鑫
优先权 ：
CN202210160921.9
主分类号 ：
G01R33/07
IPC分类号 ：
G01R33/07
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R33/00
测量磁变量的装置或仪器
G01R33/02
测量磁场或磁通量的方向或大小
G01R33/06
采用电磁器件
G01R33/07
霍耳效应器件
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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