柔性太阳能电池及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明揭示了一种柔性太阳能电池及其制备方法，所述制备方法包括：在生长衬底上生长刻蚀停止层；在刻蚀停止层上倒装生长太阳能电池外延结构；在太阳能电池外延结构的背面制备背面电极；在背面电极上制备柔性衬底；将刚性衬底与柔性衬底进行键合；去除生长衬底及刻蚀停止层；在太阳能电池外延结构的正面进行器件工艺；将刚性衬底与柔性衬底进行解键合。本发明柔性太阳能电池的制备方法中只需进行一次刚性衬底与柔性衬底的键合与解键合，简化了制备工艺、降低了工艺成本；紫外光解键合相比于机械解键合，对电池的损伤更小，有利于提高良品率，相比于激光解键合，能降低设备成本。
基本信息
专利标题 ：
柔性太阳能电池及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114551648A
申请号 ：
CN202210182280.7
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-02-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王霞陆书龙龙军华孙强健宣静静张怡吴晓旭陈志韬
申请人 ：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区若水路398号
代理机构 ：
苏州三英知识产权代理有限公司
代理人 ：
周仁青
优先权 ：
CN202210182280.7
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L31/0445
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20220225
申请日 : 20220225
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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