本申请提供一种设备运行参数确定方法、装置、电子设备及存储介质，涉及半导体技术领域。该方法包括：获取生产设备的第一组运行参数、第一组运行参数在预设历史时间段内对应的多个第一生产结果参数以及针对多个第一生产结果参数的评价分值后，根据第一组运行参数、多个第一生产结果参数以及评价分值，采用预设的监督学习数据模型，得到生产设备的第二组运行参数，用以使得生产设备以第二组运行参数进行运行。相较于人工的设备参数调试确定方法而言，在参数确定中通过引入监督学习模型，减少了人工参与，使得设备的参数确定不依赖于操作人员的知识水平和行业经验通过根据获取的数据信息，能够快速有效得到可观提高设备生产效率的第二组运行参数。