一种内凹型工件的内表面整体三维轮廓测量装置及方法
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摘要
本发明公开了一种内凹型工件的内表面整体三维轮廓测量装置及方法,包括:用于同时生成环形光和准直光的光生成模块,且环形光的传输方向垂直于被测样件的对称中心轴,准直光的传输方向平行于所述被测样件的对称中心轴;用于接收第一反射光并生成第一物像的第一反射光检测模块;用于接收第二反射光并生成第二物像的第二反射光检测模块,以及用于根据第一反射光集获取内凹空间侧面轮廓和根据第二反射光集获取内底面轮廓的控制处理模块。本发明的目的在于提供一种内凹型工件的内表面整体三维轮廓测量装置及方法,有效解决了原各种单探头角度适应性不足,系统结构复杂等问题。
基本信息
专利标题 :
一种内凹型工件的内表面整体三维轮廓测量装置及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114295075A
申请号 :
CN202210221254.0
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2022-03-09
授权号 :
CN114295075B
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
马骅张霖柴立群白金玺任寰石振东马可刘丽佳
申请人 :
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请人地址 :
四川省绵阳市绵山路64号
代理机构 :
成都行之专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
林菲菲
优先权 :
CN202210221254.0
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-06-03 :
授权
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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