一种三维微观可视化玻璃刻蚀模型及其制备方法
公开
摘要
本发明提供一种三维微观可视化玻璃刻蚀模型及其制备方法，该方法包括：孔隙网络结构设计、玻璃片准备、涂抹保护层、光刻掩膜版成像：采用干法刻蚀，将孔隙网络结构通过光刻掩膜版成像刻蚀在所述保护胶上，再用显影液使保护胶上的孔隙网络结构图形得以显现；蚀刻所述孔隙网络结构的孔隙图形，然后进一步蚀刻载片玻璃，使得所述孔隙网络结构的孔隙加深至所需深度，形成孔隙网络结构刻蚀模型；将载片玻璃有孔隙网络结构的一面与盖片玻璃键合在一起，形成可视化玻璃刻蚀模型。本发明制作方法操作简单，成本低，成功率高。
基本信息
专利标题 ：
一种三维微观可视化玻璃刻蚀模型及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114573241A
申请号 ：
CN202210226097.2
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-03-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朱珊珊唐瑜施雷庭叶仲斌谭书衡李尧易龙
申请人 ：
西南石油大学
申请人地址 ：
四川省成都市新都区新都大道8号西南石油大学
代理机构 ：
成都知棋知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
马超前
优先权 ：
CN202210226097.2
主分类号 ：
C03C15/00
IPC分类号 ：
C03C15/00 G03F7/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C15/00
纤维和丝之外的蚀刻法玻璃表面处理
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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