本发明提供了一种光学器件，包括光栅层，所述光栅层的表面具有通过原子层沉积方法形成的无机氧化物薄膜。本发明使用原子层沉积技术在传统的光栅型裸眼3D显示模组光栅层下表面镀单层无机氧化物保护层，或者使用原子层沉积技术在裸眼3D显示模组的银镀层表面镀一组或多组高低折射率交替的无机氧化物薄膜，保护光栅层表面的银镀层不被腐蚀变色，增加性耐性，从而提升其使用寿命。使用原子层沉积技术沉积的无机氧化物薄膜具有优越的均匀性、台阶覆盖率、保形性以及低消光系数。本发明还提供了一种裸眼3D显示装置和一种提升光学器件性耐性的方法。