本发明提供一种真空吸附转接垫片，其结构包括：主体、真空吸盘、转接垫片、晶圆，主体与真空吸盘为一体化结构，转接垫片安装于真空吸盘上端；本发明由转接垫片进一步改进后可通过使用转接垫片时，可直接更换转接垫片后即可进行使用更换后的垫片与真空吸盘进行相互配合，从而通过达到更换垫片即可使一个真空吸盘完成对各种尺寸晶圆的吸附，同时外层所装有的辅助软体效果能够有效的减缓晶圆的滑动性能，并且根据吸头与真空吸盘的相互配合下能够同一时间进行运行，使在抽气过程中保持平衡效果，进而达到均匀吸气的效果，从而能够有效的解决了光滑晶圆在转接垫片上产生的容易打滑现象，并且能够均匀的将晶圆进行吸气，防止抽气不平衡导致的晶圆受损。