本发明公开了一种新型蚀刻机喷淋摇摆机构驱动装置，属于机械设备技术领域，包括连接支架以及安装于连接支架内部的安装支板，所述安装支板内部顶端通过支架安装有直流电机，所述直流电机动力输出端连接有联轴器，所述联轴器动力输出端贯穿所述安装支板固定连接有驱动圆盘，所述驱动圆盘转动连接于所述安装支板顶面，所述安装支板顶面远离所述驱动圆盘一侧固定安装有滑轨，所述滑轨和所述驱动圆盘之间设置有用于润滑所述滑轨的润滑机构，所述滑轨顶面滑动连接有滑块；它可以实现简化传统结构的双导轨结构和凸轮轴承结构，可降低成本，同时降低凸轮轴承的更换频率和降低设备维护的时间，提高摇摆驱动机构的稳定性。