辅助WAT生产监控的方法及装置
公开
摘要
本发明提供一种辅助WAT生产监控的方法，持续获取多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中晶圆的lot信息；将多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中的lot信息整合至显示界面，显示界面用于显示每个WAT机台对应的测试信息、机台状态以及lot信息；根据显示界面筛选出符合设置条件的WAT机台中的lot信息。本发明的方法可监控WAT机台测试lot状态，帮助判断待测lot测试顺序，提高了监控效率。
基本信息
专利标题 ：
辅助WAT生产监控的方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114609500A
申请号 ：
CN202210235438.2
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
余燕萍刑阳阳
申请人 ：
上海华力集成电路制造有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 ：
上海浦一知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘昌荣
优先权 ：
CN202210235438.2
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26 G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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