本发明涉及一种用于超光滑抛光的柔性工具轮，属于先进制造领域。通过在高精度机床本体中引入具有柔性涂层的工具轮，含有柔性涂层的工具轮可以通过弹性变形弥补微小间隙抛光光学元件时，由于机床定位误差或加工时间长导致的工具轴伸长而引起的间隙变化，并可以实现光学元件的接触式与非接触式抛光，不仅可以提高抛光效率，也可以通过弹性变形避免对光学元件表面的划伤。柔性工具轮包括：柔性涂层、弹性高分子层、金属芯。本发明为超精密制造过程中，光学元件的超光滑抛光提供一种高效高质量的抛光工具。