一种小型MEMS传感器测试设备及测试方法
实质审查的生效
摘要
本发明提出一种小型MEMS传感器测试设备和测试方法。MEMS传感器测试设备包括：器件工装、探针板组件及气缸组件，所述器件工装上设有标定孔、方向标记和应力感应器件，所述探针板组件包括多个探针以及探针定位工装，所述探针定位工装上开设有探针定位孔，所述探针定位孔的位置与所述器件工装上小型MEMS传感器的引脚（PIN脚）以及所述信号引出电路板中的焊盘位置相对应。本发明实现超小引脚间距MEMS传感器的测试，并减小探针与MEMS传感器引脚的接触力，减小MEMS传感器所受应力，提高测试精度。
基本信息
专利标题 ：
一种小型MEMS传感器测试设备及测试方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114325350A
申请号 ：
CN202210249868.X
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2022-03-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
周浩楠陈广忠霍向明张亚婷
申请人 ：
北京智芯传感科技有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区中关村大街19号新中关大厦B座北翼1701
代理机构 ：
北京墨丘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
唐忠仙
优先权 ：
CN202210249868.X
主分类号 ：
G01R31/28
IPC分类号 ：
G01R31/28 G01D18/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试，例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/28
申请日 : 20220315
申请日 : 20220315
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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