一种氧化锌微纳图案的飞秒激光直写方法
实质审查的生效
摘要
氧化锌是一种半导体材料，可用于发光二极管，光电传感器等领域。本发明公开了一种氧化锌微纳图案的飞秒激光直写方法，将锌基光刻胶单体与双光子引发剂按比例溶解，旋涂后在飞秒激光的诱导下在选定的位置发生聚合，显影后形成设计的图案，将所得的图案在空气气氛中高温退火，可得到氧化锌的微纳图案，该方法可以快速简便地制造二氧化锌微纳图案，可用于半导体器件和光电传感器件的快速制造。
基本信息
专利标题 ：
一种氧化锌微纳图案的飞秒激光直写方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114326295A
申请号 ：
CN202210250051.4
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2022-03-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
夏贤梦曹春沈小明邱毅伟关玲玲匡翠方
申请人 ：
之江实验室
申请人地址 ：
浙江省杭州市余杭区之江实验室南湖总部
代理机构 ：
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张荣鑫
优先权 ：
CN202210250051.4
主分类号 ：
G03F1/76
IPC分类号 ：
G03F1/76 G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1/68
未包含在G03F1/20至G03F1/50组中的制备工艺
G03F1/76
通过成像的掩膜的图案化
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 1/76
申请日 : 20220315
申请日 : 20220315
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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