本发明公开了一种用于生产超纯净电子级双氧水的高品质原料，为由包括电解工艺和蒸馏工艺制备的符合SEMI G2标准的双氧水。本发明还公开所述用于生产超纯净电子级双氧水的高品质原料的制备方法，其制备步骤包括电解工艺和蒸馏工艺。本发明的有益效果是：采用相对低成本的高纯水和高纯氧气为原料，制得的双氧水中总有机碳含量可以忽略不计，通过成熟的蒸馏工艺高效率去除无机杂质，获得符合SEMI G2标准的高品质双氧水原料作为生产更高纯度电子级双氧水的原料；该制备工艺流程相对简单，并且该高品质原料比直接提纯工业级双氧水制电子级双氧水的综合生产成本低，具有重要的工业应用价值。