一种用于大长度导轨直线度测量的方法和系统
公开
摘要
本发明公开了一种用于大长度导轨直线度测量的方法和系统，涉及几何误差测量技术领域。测量系统包括导轨、固定台架、运动平台、第一激光干涉仪、第一干涉镜组、第一反射镜组、第二激光干涉仪、第二干涉镜组和第二反射镜组，第一干涉镜组设置在第一激光干涉仪和第一反射镜组之间，第二干涉镜组设置在第二激光干涉仪和第二反射镜组之间，第一反射镜组和第二反射镜组设置在运动平台上，第一激光干涉仪和第二激光干涉仪设置在固定台架上；通过沿导轨长度方向移动运动平台，即可测得反射镜组移动的位移，从而测得导轨的直线度。采用本发明的测量方法测量可同时测量导轨x、y或x、z方向的位移，简化了测量步骤，减小了测量误差。
基本信息
专利标题 ：
一种用于大长度导轨直线度测量的方法和系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114623784A
申请号 ：
CN202210270915.9
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-03-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
胡常安杜文波李建钢吕菲
申请人 ：
中国测试技术研究院机械研究所
申请人地址 ：
四川省成都市成华区玉双路10号
代理机构 ：
四川仓颉律师事务所
代理人 ：
张勇
优先权 ：
CN202210270915.9
主分类号 ：
G01B11/27
IPC分类号 ：
G01B11/27 G01B11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/27
••用于检测轴线准直
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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