自适应直线度测量方法及其装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要

一种自适应直线度测量方法及其装置,属于直线度的光学测量技术领域。本发明所述方法是在测量现场采集数据利用多元逐步回归方法,建立适合当时当地条件的模型,并以自适应除噪技术以及对测试区温度梯度的监测达到消除测量中由于光束本身的漂移、抖动、弯曲造成的误差,以保证测量基准的稳定性,提高直线测量的精度。本发明所述装置是在准直光束路径上设置两个以上固定的监测靶,一个与被测物相连的测试靶,同时对各靶多次采样取平均值后进行计算机数据处理,并实时输出测试结果。

基本信息
专利标题 :
自适应直线度测量方法及其装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1047385A
申请号 :
CN89103290.8
公开(公告)日 :
1990-11-28
申请日 :
1989-05-18
授权号 :
CN1017090B
授权日 :
1992-06-17
发明人 :
殷纯永曾理江梁晋文丁慎训
申请人 :
清华大学
申请人地址 :
100084北京市海淀区清华园
代理机构 :
清华大学专利事务所
代理人 :
廖元秋
优先权 :
CN89103290.8
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24  G01B11/27  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
1994-03-30 :
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-01-27 :
授权
1992-06-17 :
审定
1990-11-28 :
公开
1989-11-29 :
实质审查请求
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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