测量装置和测量方法
公开
摘要
提供一种能够有效检查电子部件的电特性并且误差少的测量装置和测量方法。测量装置具有：压力变更单元，其改变测量室内的压力；多个接触探针，其同时接触多个石英振子的外部电极；电源部，其对石英振子施加电压；测量部，其测量石英振子的阻抗；以及切换部，其针对每个石英振子切换石英振子和接触探针的电连接并将输出值发送到测量部。
基本信息
专利标题 ：
测量装置和测量方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114384347A
申请号 ：
CN202111205031.7
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-10-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
塩野忠久森広宣
申请人 ：
株式会社昭和真空
申请人地址 ：
日本神奈川县相模原市
代理机构 ：
北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张瑛
优先权 ：
CN202111205031.7
主分类号 ：
G01R31/00
IPC分类号 ：
G01R31/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/00
电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置；在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L21/66；线路传输系统的测试入H04B3/46）
法律状态
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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